探針臺
Probe Stations
低維材料
2D Material Transfer Platform
光電測試系統
Optoelectronic test system
光學平臺與光學面包板
Optical platform and breadboard
光波導耦合系統
Optical waveguide coupling system
光源
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OCT 成像系統
OCT Imaging System
光電探測與分析
Beam Measurement and Control
顯微觀察
Microscopic observation
運動控制
Motion Control
教學/科研光路系統
Scientific optical path system
其他設備及軟件
Other equipment and software
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控溫范圍可達-142℃-600℃；
控溫精度可達±1℃，顯示精度1℃，溫度均勻性±3℃；
極限真空度優于4*10-1@機械泵，極限真空度優于3*10-4Pa@分子泵組；
探針位移行程40mm，分辨率3μm；
三同軸探針夾具，漏電精度100fA；
配置氣浮隔振平臺，固有頻率：1.2Hz～1.8Hz；
廣泛應用于半導體材料、納米器件、超導材料、鐵電材料等領域的研究與開發；
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