探針位移精度0.7μm；
XYZ三軸位移行程均為20mm；
集成射頻專(zhuān)用夾具，沿X軸傾斜擺動(dòng)0—30°角度可調(diào)；
集成進(jìn)口細(xì)牙絲桿以及進(jìn)口交叉滾珠導(dǎo)軌；
底部匹配日本進(jìn)口超強(qiáng)磁性底座，可以通過(guò)開(kāi)關(guān)調(diào)節(jié)磁性的有無(wú)，超強(qiáng)磁力；
射頻（RF）表示可以輻射到空間的電磁頻率，頻率范圍從300kHz～300GHz之間；
可配合40GHZ/50GHZ/67GHZ/110GHZ射頻探針使用；
