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• 整體一體化設計，集成度高，功能實用；
• U型探針架，可以放置4個探針座；
• 探針臺整體位移精度高達10μm，樣品臺四維精密調節；
• 漏電流精度：10pA/100fA（屏蔽箱內）；
• 精密燕尾槽，線性移動，無回程差設計；
• 應用于：功率器件測試、MEMS測試、太陽能電池片測試、材料表面電阻率測試等；

     譜量光電 根據客戶實際應用需求，推出該款集成度高，功能實用，性價比優異的模塊化探針臺，該系列探針臺主要由光學成像部分、光學隔振平板、探針座 、四維調節樣品臺、真空吸附系統組成。滿足產線基本電學參數測試同時兼顧低成本優勢，已成為工業生產領域批量檢測的理想之選。