探針臺
Probe Stations
譜量光電 根據客戶實際應用需求,推出該款集成度高,功能實用,性價比優異的模塊化探針臺,該系列探針臺主要由光學成像部分、光學隔振平板、探針座 、四維調節樣品臺、真空吸附系統組成。滿足產線基本電學參數測試同時兼顧低成本優勢,已成為工業生產領域批量檢測的理想之選。
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樣品臺行程
XY110mm,Z10mm,R軸360旋轉可鎖緊 |
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綜合最大放大倍數
~270倍 |
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探針座調節精度
10μm |
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線纜規格
同軸接口(BNC、鱷魚夾、香蕉插頭)/三同軸接口(可選配) |
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漏電精度
10pA屏蔽箱內) |
(Keithley26系列源表實測)

(Keithley26系列源表實測)

PLCTS 簡易型基礎測試探針臺是根據實驗不同應用場景的需要,匹配研發的這款結構小巧,功能實用,成本較低的簡易型探針臺,在滿足基本測試功能基礎上,去除了非必要的部件,為半導體工業用戶提供批量高性價比解決方案。