探針臺
Probe Stations
譜量光電 萬向型10μm探針座主要是針對特殊樣品需要調節特殊角度而研發的一款支持360°旋轉及360°傾斜調節探針座。整體采用航空鋁合金,表面噴砂氧化,具有很好的耐腐蝕能力。位移采用燕尾分離式導軌結構,保證線性位移的穩定性。主要用途探針與待測器件(如芯片)接觸,傳輸測試信號并收集響應信號,以評估待測器件的性能和質量,為半導體芯片的電參數測試提供一個導通條件。根據客戶應用電極大小和需要調節角度不同等,還提供通用型、L型探針座供客戶選擇。廣泛應用于半導體晶圓測試、芯片器件研發與制造、光電元件測試等,如有定制化標準(行程、精度、夾具等)可聯系客戶咨詢。
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探針位移行程
XYZ13mm+360°旋轉+360°精密定向傾斜調節 |
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調節精度
10μm |
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電流測量范圍
100fA/10pA~10A |
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線纜規格
同軸線纜(BNC/鱷魚夾/香蕉插頭)/三同軸線纜 |
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漏電精度
10pA/100fA |
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線纜長度
1.5m |
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固定方式
可調磁力吸附 |


(Keithley26系列源表實測)

PLCTS 萬向型10μm探針座適整體采用鋁合金材質,表面噴砂氧化。位移采用燕尾分離式導軌結構,保證線性位移;支持360°旋轉及360°傾斜調節,適用于100μm以上特殊樣品電極測試使用。