探針臺
Probe Stations
PLCTS 探針座作為探針臺的核心部件,主要用途是連接探針和線纜,為半導體芯片的電參數測試提供一個導通條件,從調節精度上來區分可分為10μm/5μm/3μm/1μm/0.5μm等,從操作方式來區分可分為手動和電動,此外根據應用場景的不同又可分為通用型探針座/萬向型探針座/L型探針座等,廣泛應用于半導體及光電行業的電學參數測試。
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探針位移行程
XYZ三維分別13mm+180°旋轉調節 |
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調節精度
10μm |
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電壓測量范圍
≤1000V |
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電流測量范圍
100fA/10pA~10A |
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饋通線纜
同軸線纜/三同軸線纜 |
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線纜長度
1.5米 |


(Keithley26系列源表實測)

PLCTS 10μm調節精度L型探針座適用于100μm以上電極使用,適用于直流I-V測試,C-V測試,I/O點測試等。廣泛應用于晶圓芯片、半導體材料器件、太陽能電池、集成電路等相關行業領域。