探針臺(tái)
Probe Stations
譜量光電 精密型光電測(cè)試探針臺(tái)是半導(dǎo)體行業(yè)中至關(guān)重要的檢測(cè)裝備,它主要用于測(cè)試半導(dǎo)體器件、光電轉(zhuǎn)換器、光電探測(cè)器、芯片和封裝體的光電性能。整體實(shí)驗(yàn)需要的設(shè)備包括光電流測(cè)試探針臺(tái)、光源(單色光源或多色光源)、半導(dǎo)體分析儀等,首先要將探針精確定位到待測(cè)點(diǎn)上,確保探針與測(cè)試點(diǎn)之間的良好接觸。然后調(diào)整光源的照射角度和強(qiáng)度,開啟光源使其照射到樣品上;可以調(diào)節(jié)光源的光源的波長(zhǎng)、功率通過半導(dǎo)體分析儀上監(jiān)測(cè)并記錄光電流的變化情況,然后通過測(cè)試軟件采集和分析測(cè)試數(shù)據(jù)。溫度控制系統(tǒng)(可選)用于在不同的溫度條件下進(jìn)行測(cè)試,以研究樣品的光電性能隨溫度的變化。我司也可以提供測(cè)試所需光源(單色光源或多色光源),如果有其他定制需求可以聯(lián)系我們的客服進(jìn)行溝通。
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顯微鏡接口分布
左側(cè)為相機(jī)接口,兼容 CCD 以及 CMOS 相機(jī)、 中間為激光耦合接口 、右側(cè)為L(zhǎng)ED照明光源接口 |
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物鏡
95mm大視場(chǎng)平場(chǎng)復(fù)消色差長(zhǎng)焦物鏡 |
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放大倍數(shù)
200~1000倍 |
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樣品臺(tái)行程
XY軸110mm,Z軸10mm,360°粗調(diào),±5°精調(diào) |
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探針座調(diào)節(jié)精度
3μm |
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線纜規(guī)格
三同軸接口/同軸接口BNC、鱷魚夾、香蕉插頭(可選配) |
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漏電精度
100fA(屏蔽箱內(nèi)) |



PLCTS 精密型光電測(cè)試探針臺(tái)基于TLRH系列探針臺(tái)將雙目體式顯微鏡升級(jí)為激光顯微鏡而來,實(shí)現(xiàn)高分辨率成像的同時(shí)兼顧外引激光光路,實(shí)現(xiàn)光電流與IV的雙功能檢測(cè),是光電芯片/光致發(fā)光的理想之選。