探針臺(tái)
Probe Stations
譜量光電 精密阻尼隔振光學(xué)平臺(tái)上面板采用優(yōu)質(zhì)高導(dǎo)磁不銹鋼，臺(tái)面內(nèi)核為三層夾心式蜂窩結(jié)構(gòu)，內(nèi)核密度大幅度提高，具有優(yōu)秀的硬重比和剛性，同時(shí)保證了較低的固有頻率，具備行業(yè)較高的隔振效果。上臺(tái)面采用精密磨削工藝，平面度可達(dá)≤0.05mm/㎡，表面粗糙度：<0.6μm，回旋打磨工藝清除毛邊，達(dá)到無反射啞光效果。支架采用整體焊接工藝（四支撐或六支撐結(jié)構(gòu)），防止松動(dòng)及受力不均等情況，保證整體穩(wěn)定性。支撐腿上方采用專業(yè)級(jí)精密錐形阻尼減振器，下方采用一級(jí)阻尼隔振墊。具有非常優(yōu)秀的緩沖及隔振性能，固有頻率控制在3-8Hz。支架帶可升降高度機(jī)構(gòu)和萬向可鎖緊腳輪，方便移動(dòng)和調(diào)整。
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平面度
≤0.05mm/㎡ |
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表面粗糙度
＜0.6μm |
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固有頻率
3-8Hz |
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振幅
5μm |
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螺孔間距
25mm×25mm |
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螺孔規(guī)格
M6(公制) |
| 定制類型 | 示意圖 | 具體描述 |
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| 無磁平臺(tái)定制 |
| 支持（臺(tái)面）無磁和（臺(tái)面支架）整體全無磁兩種形式 左圖為中電某所PLGZQ-1815全無磁精密型氣浮隔振光學(xué)平臺(tái) |
| 非標(biāo)準(zhǔn)尺寸定制 |
| 各種非標(biāo)準(zhǔn)型號(hào)尺寸均可定制 左圖為2.7x1.5米阻尼隔振光學(xué)平臺(tái) |
| 異型結(jié)構(gòu)定制 |
| 非標(biāo)準(zhǔn)矩形臺(tái)面等異型結(jié)構(gòu)來圖定制 |
| 各類刻度線定位標(biāo)識(shí) |
| 刻度線和定位標(biāo)識(shí)定制 |
PLCTS 精密阻尼隔振光學(xué)平臺(tái)支架頂部采用復(fù)合型振動(dòng)隔離器在一定條件下可隔離來自地面的振動(dòng)，底部安裝調(diào)節(jié)裝置，解決了地面不平坦的問題。臺(tái)面平面度可達(dá)≤0.05mm/㎡，表面粗糙度：<0.6um，達(dá)到無反射啞光效果，有效減少了雜散光。滿足不同的實(shí)驗(yàn)室環(huán)境需求，支持客戶尺寸結(jié)構(gòu)定制化。
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