探針臺
Probe Stations
譜量光電 精密氣浮隔振光學平臺上面板采用優質高導磁不銹鋼,臺面內核為三層夾心式蜂窩結構,內核密度大幅度提高,具有優秀的硬重比和剛性,同時保證了較低的固有頻率,具備行業較高的隔振效果。上臺面采用精密磨削工藝,平面度可達≤0.05mm/㎡,表面粗糙度:<0.6μm,回旋打磨工藝清除毛邊,達到無反射啞光效果。氣浮支架采用整體焊接工藝(四支撐或六支撐結構),半膜片式空氣彈簧,采用進口三水平調節閥技術,反應靈敏,響應迅速,在超載偏重的實驗條件下,能瞬間恢復初始的平衡狀態。支撐腿內部為二級氣室結構,氣室間帶有阻尼孔,氣動元件全部采用德國FESTO產品,標配優質大功率超靜音壓縮機,整體結構保證平臺有較高的穩定性。
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平面度
≤0.05mm/㎡ |
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表面粗糙度
<0.6μm |
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固有頻率
X方向:1.2~2Hz,Y方向:1.2~2Hz |
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振幅
<2μm |
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螺孔間距
25mm×25mm |
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螺孔規格
M6(公制) |




| 定制類型 | 示意圖 | 具體描述 |
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| 無磁平臺定制 |
| 支持(臺面)無磁和(臺面支架)整體全無磁兩種形式 左圖為中電某所PLGZQ-1815全無磁精密型氣浮隔振光學平臺 |
| 非標準尺寸定制 |
| 各種非標準型號尺寸均可定制 左圖為2.7x1.5米阻尼隔振光學平臺 |
| 異型結構定制 |
| 非標準矩形臺面等異型結構來圖定制 |
| 各類刻度線定位標識 |
| 刻度線和定位標識定制 |
PLCTS 精密氣浮隔振光學平臺支撐腿內部采用雙腔氣室結構,氣室間帶有阻尼孔。氣動元件采用德國FESTO產品,標配優質大功率超靜音壓縮機,在降低固有頻率的同時又加強了減振效果。臺面平面度:≤0.05mm/㎡,表面粗糙度:<0.6μm,達到無反射啞光效果。支持客戶尺寸結構定制化需求,適應更多實驗環境。