• 隔振方式：三線擺桿、混合腔結構；
• 阻尼方式：微米級層流阻尼，SMC 納米級高流量氣動執行元件；
• 通過實驗理論值固有頻率：垂直＜1.0～1.5Hz；水平＜1.0～1.5Hz；
• 支腿頂部配有安全連接件，大大提升安全性；
• 臺面具有M6螺紋孔，螺孔間距： 25mm×25mm陣列分布，可在臺面固定光學元件等；

     譜量光電 三線擺式高性能氣浮隔振光學平臺是我司為超高精密實驗需求開發的一款高性能氣浮隔振平臺。上面板采用優質高導磁不銹鋼，臺面內核為三層夾心式蜂窩結構，內核密度大幅度提高，具有優秀的硬重比和剛性，同時保證了較低的固有頻率，具備行業較高的隔振效果。上臺面采用精密磨削工藝，平面度可達≤0.05mm/㎡，表面粗糙度：<0.6μm，回旋打磨工藝清除毛邊，達到無反射啞光效果。支腿為獨立式圓腿支撐，無整體共振，內部三線擺設計可將振動隔離到更低的水平，并在受到干擾后實現高精度工作臺重新定位，層流阻尼技術大大提高阻尼效率，混合腔設計極大增加給定尺寸下的柔性體積，同時有效降低了固有頻率。