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參數(shù)規(guī)格
細(xì)節(jié)展示
漏電精度測(cè)試
IV測(cè)試曲線

產(chǎn)品說明

探針臺(tái)整體位移精度高達(dá)3μm，樣品臺(tái)四維精密調(diào)節(jié)；
顯微鏡增加XY精密移動(dòng)功能，位移精度：3μm；
雙目鏡SWH10X/25mm；0.65倍CTV，明場(chǎng)長(zhǎng)軸照明器；
預(yù)留濾光及偏光插槽，帶光闌調(diào)節(jié)通光量及視野大小；
選用95mm大視場(chǎng)平場(chǎng)復(fù)消色差長(zhǎng)焦物鏡；
應(yīng)用于：MEMS測(cè)試、芯片測(cè)試、晶圓測(cè)試、測(cè)試光電器件的電學(xué)性能和光學(xué)性能等；

譜量光電精密型基礎(chǔ)測(cè)試探針臺(tái)（金相款）能夠清晰觀測(cè)到被測(cè)元件的微小結(jié)構(gòu)和細(xì)節(jié)，確保測(cè)試的準(zhǔn)確性。具有高分辨率觀測(cè)、高精度測(cè)試等特點(diǎn)；預(yù)留濾光及偏光插槽，帶光闌調(diào)節(jié)通光量及視野大小，支持多組物鏡切換使用。在半導(dǎo)體器件的研發(fā)和測(cè)試中，更利于觀察1μm以上電極/PAD使用，大大的提高了測(cè)試結(jié)果的穩(wěn)定性。

通用參數(shù)

樣品臺(tái)行程

XY軸110mm，Z軸10mm，360°粗調(diào)，±5°精調(diào)

放大倍數(shù)

200～1000倍

漏電精度

100fA（屏蔽箱內(nèi)）

線纜規(guī)格

三同軸接口/同軸接口BNC、鱷魚夾、香蕉插頭（可選配）

物鏡

95mm大視場(chǎng)平場(chǎng)復(fù)消色差長(zhǎng)焦物鏡

精密型基礎(chǔ)測(cè)試探針臺(tái)（金相款）

雙目鏡SWH10X/25mm；0.65倍CTV，明場(chǎng)長(zhǎng)軸照明器；
標(biāo)配5X，10X，20X，50X五種復(fù)消色差長(zhǎng)焦物鏡；
探針座調(diào)節(jié)精度：3μm；
線纜規(guī)格：三同軸線纜，漏電精度：100fA（屏蔽箱內(nèi)）;

PLCTS 精密型基礎(chǔ)測(cè)試探針臺(tái)（金相款）主要是對(duì)精密型基礎(chǔ)測(cè)試探針臺(tái)的顯微鏡成像進(jìn)行升級(jí)。標(biāo)配5X，10X，20X，50X五孔物鏡轉(zhuǎn)盤，選用95mm大視場(chǎng)平場(chǎng)復(fù)消色差長(zhǎng)焦物鏡，最大放大倍率～1000倍。如需更換探針座款式（1μm、0.7μm等）及線纜規(guī)格（同軸線纜）可聯(lián)系客服。

右側(cè)圖展示

產(chǎn)品型號(hào)	樣品臺(tái)尺寸	探針座調(diào)節(jié)精度	漏電精度	放大倍數(shù)	單價(jià)	發(fā)貨日期 	購物車
TLRH-04M	4英寸	3μm	100fA（屏蔽箱內(nèi)）	200~1000倍	聯(lián)系客服	聯(lián)系客服	加入購物車
TLRH-06M	6英寸	3μm	100fA（屏蔽箱內(nèi)）	200~1000倍	聯(lián)系客服	聯(lián)系客服	加入購物車
TLRH-08M	8英寸	3μm	100fA（屏蔽箱內(nèi)）	200~1000倍	聯(lián)系客服	聯(lián)系客服	加入購物車
TLRH-12M	12英寸	3μm	100fA（屏蔽箱內(nèi)）	200~1000倍	聯(lián)系客服	聯(lián)系客服	加入購物車

精密型基礎(chǔ)測(cè)試探針臺(tái)（金相款）

南京譜量光電科技有限公司

Nanjing Spectrum Photoelectric Technology Co., Ltd.