探針臺
Probe Stations
1. 簡介
吉時利（Keithley）公司提供一系列源-測量單元（Source-Measure Unit，SMU）儀器，這些儀器在測試與測量行業中功能強大、速度快、分辨率高。本文將介紹幾款主要型號：2450B、2602B、2606B、2612B、2636B。
2. 主要型號介紹
2450B 型號
特點：2450B 是一款高性能的臺式SMU儀器，結合了精密電壓、電流源與測量功能。其用戶界面采用觸摸屏設計，便于操作和查看數據。
應用：適用于需要精密電源和測量的應用，如半導體測試、納米技術研究、材料特性分析等。
性能參數：
電流范圍：10nA - 1A
電壓范圍：200nV - 200V
分辨率：1pA
最高讀數速度：1,000,000讀數/秒
接口：GPIB、USB、LAN
2602B 型號
特點：2602B 是雙通道系統源表，適用于高吞吐量和并行測試需求。其內置的Test Script Processor（TSP）允許用戶編寫并執行復雜的測試腳本。
應用：廣泛用于半導體器件測試、組件特性分析和研發。
性能參數：
電流范圍：100fA - 10A
電壓范圍：100nV - 200V
分辨率：100fA
最高讀數速度：20,000讀數/秒
接口：GPIB、LAN、USB
2606B 型號
特點：2606B 提供四個獨立的SMU通道，適合構建大規模的多通道測試系統。它支持高速并行測試，提高了測試效率。
應用：適用于需要多通道同步測試的復雜應用，如光電器件、半導體材料和組件的研發和生產測試。
性能參數：
電流范圍：100fA - 3A
電壓范圍：100nV - 200V
分辨率：100fA
最高讀數速度：20,000讀數/秒
接口：GPIB、LAN、USB
2612B 型號
特點：2612B 是一款高電壓、高電流雙通道源表，適用于需要高功率輸出的測試應用。其TSP架構支持多設備同步操作。
應用：適用于電池測試、高功率LED測試、電源模塊測試等高功率應用。
性能參數：
電流范圍：10fA - 10A
電壓范圍：100nV - 200V
分辨率：10fA
最高讀數速度：20,000讀數/秒
接口：GPIB、LAN、USB
2636B 型號
特點：2636B 是雙通道系統源表，適用于低電流測試和高精度測量。其內置的TSP功能和并行測試能力使其非常適合復雜的測試需求。
應用：廣泛應用于低電流器件的測試，如傳感器、二極管、低功耗IC等。
性能參數：
電流范圍：0.1fA - 10A
電壓范圍：100nV - 200V
分辨率：0.1fA
最高讀數速度：20,000讀數/秒
接口：GPIB、LAN、USB
3. 選型指南
在選擇適合的SMU儀器時，應根據具體應用需求考慮以下因素：
電流和電壓范圍：不同型號的電流和電壓范圍適用于不同的測試對象，應根據測試需求選擇合適的范圍。
分辨率和精度：高分辨率和高精度對于測量微小信號和確保測量準確性非常重要。
通道數量：如果需要同時測試多個設備或進行多點測試，選擇多通道的SMU儀器會提高測試效率。
接口和軟件支持：確保所選儀器具有合適的接口（如GPIB、USB、LAN）和軟件支持，以便與現有的測試系統集成。
通過綜合考慮以上因素，可以選擇到最適合特定應用的吉時利SMU儀器，以提高測試效率和準確性。
